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掃描電鏡中的像散校正如何進行

日期:2023-08-31

在掃描電鏡(SEM)中,像散校正是一種重要的校正步驟,用于糾正由于電子透鏡的離軸像散效應而導致的圖像畸變。像散校正有助于提高SEM圖像的質量和解析度。以下是一般性的步驟和方法,說明SEM中的像散校正如何進行:

選擇合適的樣品: 為了進行像散校正,你需要選擇一個具有明顯特征的樣品,可以是一些具有明顯邊緣和結構的微小顆?;蛱卣?。

獲取像散校正圖像: 將樣品放在SEM樣品臺上,選擇一個適當的放大倍數和成像參數,然后獲取一個清晰的圖像,包括一些明顯的邊緣和特征。

選擇像散校正區域: 在圖像中選擇一個具有明顯特征的區域,這將成為你進行像散校正的區域。

應用像散校正: SEM通常配備了像散校正功能,可以通過校正軟件或圖像處理工具來實現。你需要輸入校正區域的位置,并進行校正操作。

調整參數: 在校正過程中,通常需要調整一些參數,如校正強度、校正方向等,以獲得高質量的校正效果。

確認校正效果: 校正完成后,獲取另一個圖像,以驗證是否成功校正了像散畸變。新圖像應該顯示更少的畸變和扭曲。

重復校正: 如果需要,你可以多次嘗試進行像散校正,調整參數和校正區域,直到獲得高質量的校正效果。

ZEM15臺式掃描電子顯微鏡

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作者:澤攸科技


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